Alumiiniumnitriidpõhimik

Mulliitsubstraat(3 a1203. 2Si02): on üks stabiilsemaid kristallifaase A1203-Si02 binaarsüsteemis, kuigi mehaaniline tugevus ja soojusjuhtivus on võrreldes A1203-ga madalad, kuid selle dielektriline konstant on madal, seega eeldatakse, et see parandab signaali veelgi edastuskiirus. Soojuspaisumistegur on samuti madal, mis võib vähendada LSI termilist pinget ning juhi materjali Mo, W soojuspaisumise koefitsiendi erinevus on väike, mistõttu on tsükli ajal juhi vahel väike pinge.

Alumiiniumistnitriidsubstraat:
a. Tooraine: AIN on mittelooduslik, kuid kunstlik mineraal 1862. aastal, sünteesisid esmakordselt Genther jt. Aln-pulbri esitus on nitriidmeetodi ja otsese nitrideerimismeetodi vähendamiseks. Esimene reageerib kõrge puhtusastmega süsiniku redutseerimisega A1203-s ja seejärel lämmastikuga ning viimane nitridib otseselt. ;

b. Tootmismeetod: A1203substraattootmist saab kasutada AIN-substraatide valmistamisel, kus kasutatakse maksimaalselt orgaanilist lamineerimismeetodit, st AIN-i toormaterjali pulbrit, orgaanilist liimi ja lahustit, pindaktiivse aine segamist Keraamiline suspensioon, passimine, laminaat, kuumpress, rasvaärastus, põletamine

C. AIN-substraadi omadused: AIN on rohkem kui 10 korda suurem ja CTE sobib räniplaadiga. AIN materjal on suhteliselt seotud A1203-ga, isolatsioonitakistus, isolatsioon ja dielektriline konstant on madalam. Need omadused on pakendamisaluse rakenduste puhul väga haruldased;

d. Kasutamine: kasutatakse VHF (ülikõrge sagedusega) sagedusriba võimsusvõimendi mooduli, suure võimsusega seadme ja laserdioodi aluspinna jaoks.